产品详细
Edge CDG045D2 电容膜片真空计 的详细介绍
INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得专利的独特传感器屏蔽，可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 INFICON Edge 是同类产品中体积最小的真空测量仪器。
益处
- 设计紧凑，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
