201402/18

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Edwards推出新型大容量涡轮分子真空泵

来源:Edwards 点击量:597
    Edwards公司 TMP产品营销经理Shinichi Yoshino 表示:“新型STP-iXA4506涡轮泵是拥有改良抽气性能的一体化解决方案。它采用了Edwards最新的转子设计和成熟且高度可靠的iXA系列机载控制器,使容许通过的气量最大化,从而使高流量过程所需的涡轮泵数量减至最小,尤其是在太阳能和平板应用中。泵集成的控制器免去了对线缆和独立控制器机架的需求,因而也节省了成本,体积紧凑易于在各种应用中快速安装。此外,就像我们所有的磁浮式涡轮泵一样,无需机械轴承的特性几乎免除了定期维护的成本。”
    这款涡轮泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高达4300 sccm N2)结合其有效抽吸轻气体和重气体的能力,使STP-iXA4506非常适用于许多不同的大流量、高流动性应用,包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设计包括一个完全密封的电子模组,以在最严苛的工厂环境中实现稳健、可靠的操作。需要时还可增加一套加热系统,以减少来自工艺过程中副产物的沉积物和微粒的堆积。

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